Die Pfeiffer Vacuum HiPace 700 ist eine leistungsstarke Turbomolekularpumpe für anspruchsvolle Hochvakuumanwendungen in Forschung, Industrie, Analyse und Kalibriertechnik. Mit einem Saugvermögen von 685 l/s für Stickstoff N₂, 665 l/s für Argon, 655 l/s für Helium und 555 l/s für Wasserstoff bietet sie eine sehr hohe Pumpgeschwindigkeit und eignet sich besonders für größere Vakuumkammern sowie Anwendungen mit erhöhtem Gasdurchsatz.

Pfeiffer Vacuum hebt bei der aktuellen HiPace 700 insbesondere die optimierte Rotorgeometrie, das verbesserte Verhalten bei hohen Gaslasten und die bewährte Hybridlagerung hervor. Die Pumpe ist mit verschiedenen Vorpumpen kombinierbar und bietet gleichzeitig hohe Verdichtungsverhältnisse auch für leichte Gase.

Die HiPace 700 verfügt über die elektronische Antriebseinheit TC 400. Serienmäßig stehen RS485 und Remote zur Verfügung. Die Einbaulage ist beliebig wählbar. Als Hochvakuumanschluss stehen DN 160 ISO K, DN 160 ISO F und DN 160 CF F zur Verfügung. Der Vorvakuumanschluss ist als DN 25 ISO KF beziehungsweise G 1/4 Zoll ausgeführt.

europascal unterstützt Sie bei der Auswahl geeigneter Komponenten für professionelle Vakuum und Hochvakuumsysteme. Über den europascal Kalibrierservice erhalten Sie professionelle Kalibrierleistungen für Druck und Vakuummesstechnik.

Ihre Vorteile auf einen Blick

• Leistungsstarke Turbomolekularpumpe
• Saugvermögen für N₂ 685 l/s
• Saugvermögen für Ar 665 l/s
• Saugvermögen für He 655 l/s
• Saugvermögen für H₂ 555 l/s
• Hohe Verdichtungsverhältnisse auch für leichte Gase
• Verdichtungsverhältnis N₂ 1 × 10¹¹
• Verdichtungsverhältnis Ar 1 × 10¹¹
• Verdichtungsverhältnis He 3 × 10⁷
• Verdichtungsverhältnis H₂ 4 × 10⁵
• Gasdurchsatz für N₂ bis 6,5 hPa l/s
• Maximaler Vorvakuumdruck N₂ 11 hPa
• Hochlaufzeit etwa 4 Minuten
• Schalldruckpegel 50 dB(A)
• Gewicht etwa 11,5 kg
• Elektronische Antriebseinheit TC 400
• RS485 Schnittstelle
• Remote Schnittstelle
• Beliebige Einbaulage
• Hochvakuumanschluss DN 160
• ISO K, ISO F und CF F Varianten
• Vorvakuumanschluss DN 25 ISO KF beziehungsweise G 1/4 Zoll
• Hybridlagerung
• Optimierte Rotorgeometrie
• Verbesserte Gaslastfähigkeit
• Geeignet für Hochvakuum und Ultrahochvakuumanwendungen
• Beratung und Service durch europascal

Die aktuellen Herstellerunterlagen vom September 2025 bestätigen insbesondere die Saugvermögen, Gasdurchsätze, Verdichtungsverhältnisse, Hochlaufzeit, Schnittstellen und Anschlüsse.

Ideal für anspruchsvolle Hochvakuumanwendungen

Die Pfeiffer Vacuum HiPace 700 eignet sich für Anwendungen, bei denen hohe Pumpgeschwindigkeit, niedrige Drücke und eine zuverlässige Verarbeitung größerer Gaslasten erforderlich sind.

Typische Anwendungen sind:

• Vakuumkalibrieranlagen
• Hochvakuum Prüfstände
• Kalibrierung von Vakuummessgeräten
• Massenspektrometrie
• Oberflächenanalyse
• Elektronenstrahlschweißen
• Hochenergiephysik
• Weltraumforschung
• Plasmaforschung
• Laborvakuum
• Halbleitertechnik
• PVD Prozesse
• PECVD
• ALD
• Ionenimplantation
• Lithografie
• Dünnschichtbeschichtung
• Lecksuche
• medizinische Beschleuniger
• industrielle Vakuumkammern

Pfeiffer Vacuum führt die HiPace 700 für zahlreiche Anwendungen in Forschung, Halbleitertechnik, Metallurgie, Medizintechnik, Dünnschichtbeschichtung und wissenschaftlichen Instrumenten.

Turbomolekularpumpenprinzip

Die HiPace 700 arbeitet nach dem Prinzip einer Turbomolekularpumpe.

Im Inneren befinden sich schnell rotierende Rotorstufen und feststehende Statorstufen. Die Rotorblätter übertragen Impuls auf auftreffende Gasmoleküle und transportieren sie schrittweise von der Hochvakuumseite in Richtung Vorvakuum.

Auf diese Weise werden sehr niedrige Drücke erreicht.

Eine Turbomolekularpumpe kann jedoch nicht direkt gegen Atmosphärendruck arbeiten. Für den Betrieb ist deshalb eine geeignete Vorvakuumpumpe erforderlich.

Pfeiffer Vacuum schreibt für die HiPace 700 ausdrücklich die Kombination mit einer geeigneten Vorpumpe vor, die den erforderlichen Vorvakuumdruck bereitstellen kann.

Saugvermögen von 685 l/s für Stickstoff

Das Saugvermögen der Pfeiffer Vacuum HiPace 700 beträgt für Stickstoff:

685 l/s

Dies entspricht rechnerisch:

2.466 m³/h.

Für weitere Gase gibt Pfeiffer Vacuum an:

Argon Ar: 665 l/s

Helium He: 655 l/s

Wasserstoff H₂: 555 l/s.

Die hohe Pumpgeschwindigkeit macht die HiPace 700 insbesondere für größere Vakuumkammern und Systeme mit erhöhtem Gasdurchsatz interessant.

Hohe Verdichtungsverhältnisse

Die HiPace 700 erreicht sehr hohe Verdichtungsverhältnisse.

Für Stickstoff und Argon nennt Pfeiffer Vacuum jeweils:

1 × 10¹¹

Für Helium:

3 × 10⁷

und für Wasserstoff:

4 × 10⁵.

Gerade das hohe Verdichtungsverhältnis für leichte Gase ist für anspruchsvolle Hochvakuumsysteme von Vorteil.

Bei Anwendungen mit Helium und Wasserstoff ist dies besonders relevant, da leichte Gase von Turbomolekularpumpen grundsätzlich schwieriger verdichtet werden können.

Hoher Gasdurchsatz

Neben der Pumpgeschwindigkeit ist auch der maximale Gasdurchsatz eine wichtige Kenngröße.

Bei Nenndrehzahl gibt Pfeiffer Vacuum an:

N₂: 6,5 hPa l/s

Argon: 3,5 hPa l/s

Helium: 20 hPa l/s

Wasserstoff: 14 hPa l/s.

Damit eignet sich die HiPace 700 nicht nur für statische Hochvakuumanwendungen, sondern auch für Systeme, in denen während des Betriebs kontinuierlich Gas anfällt.

Maximaler Vorvakuumdruck von 11 mbar

Für Stickstoff beträgt der maximal zulässige Vorvakuumdruck:

11 hPa beziehungsweise 11 mbar.

Die geeignete Vorpumpe muss daher in der Lage sein, diesen Druck auch unter der jeweiligen Gaslast zuverlässig zu unterschreiten.

Je nach Anwendung kann die HiPace 700 mit verschiedenen Vorpumpen kombiniert werden. Pfeiffer Vacuum hebt ausdrücklich die Kompatibilität mit unterschiedlichen Vorpumpenkonzepten hervor.

Für saubere Vakuum und Kalibriersysteme kann beispielsweise eine trockene Scrollpumpe eingesetzt werden.

Optimierte Rotorgeometrie

Ein zentrales Merkmal der aktuellen HiPace 700 ist die optimierte Rotorgeometrie.

Pfeiffer Vacuum verbindet diese mit:

höherer Pumpgeschwindigkeit

und:

verbessertem Gaslastverhalten.

Damit eignet sich die HiPace 700 besonders für leistungsfähige Systeme, bei denen sowohl ein niedriger Druck als auch eine hohe Gasförderleistung benötigt werden.

Zuverlässige Hybridlagerung

Pfeiffer Vacuum setzt bei der HiPace 700 auf eine Hybridlagerung.

Der Hersteller hebt dabei insbesondere die hochwertige Lagertechnik und die optimierte Lagerschmierung für eine lange Lebensdauer hervor.

Das Lagerkonzept ist für die sehr hohen Rotordrehzahlen einer Turbomolekularpumpe von zentraler Bedeutung.

Eine zuverlässige Lagerung unterstützt geringe Reibung, hohe Betriebssicherheit und lange Wartungsintervalle.

Elektronische Antriebseinheit TC 400

Die Pfeiffer Vacuum HiPace 700 bildet zusammen mit der elektronischen Antriebseinheit:

TC 400

eine kompakte Einheit.

Die aktuelle Betriebsanleitung führt Varianten mit:

24 V DC

und:

48 V DC

auf.

Damit stehen unterschiedliche elektrische Ausführungen zur Verfügung.

RS485 und Remote Schnittstellen

Serienmäßig verfügt die HiPace 700 über:

RS485

und:

Remote.

Damit kann die Turbomolekularpumpe in automatisierte Vakuum und Kalibrieranlagen integriert werden.

Pfeiffer Vacuum sieht darüber hinaus unterschiedliche Feldbusvarianten der TC 400 Elektronik vor, darunter beispielsweise Profibus, DeviceNet und EtherCAT.

Dies erleichtert die Integration in industrielle Steuerungssysteme.

Flexible Einbaulage

Die HiPace 700 kann laut Hersteller in:

beliebiger Einbaulage

betrieben werden.

Dies ermöglicht eine flexible Konstruktion von Vakuumanlagen.

Gerade bei größeren Anlagen kann die optimale Position der Turbopumpe Leitwertverluste reduzieren, weil Verbindungselemente zwischen Kammer und Pumpeneingang möglichst kurz ausgeführt werden können.

Kühlung mit Luft oder Wasser

Die Betriebsanleitung beschreibt sowohl Luft als auch Wasserkühlung für die HiPace 700.

Für die zulässige Umgebungstemperatur nennt Pfeiffer Vacuum:

5 bis 35 °C bei Luftkühlung

und:

5 bis 40 °C bei Wasserkühlung.

Damit lässt sich das Kühlkonzept entsprechend der thermischen Belastung und dem Anlagenaufbau auswählen.

DN 160 Hochvakuumanschluss

Die HiPace 700 ist mit verschiedenen Hochvakuumflanschen verfügbar:

DN 160 ISO K

DN 160 ISO F

DN 160 CF F.

Der große DN 160 Anschluss unterstützt die hohe Pumpgeschwindigkeit und reduziert Strömungs beziehungsweise Leitwertverluste zwischen Vakuumkammer und Pumpeneingang.

Der Vorvakuumanschluss ist als:

DN 25 ISO KF beziehungsweise G 1/4 Zoll

ausgeführt.

Hochlaufzeit von vier Minuten

Die Hochlaufzeit der HiPace 700 beträgt:

4 Minuten.

Damit erreicht die Pumpe nach dem Einschalten innerhalb relativ kurzer Zeit ihren regulären Betriebszustand.

Dies ist insbesondere bei Anlagen mit wiederkehrenden Betriebszyklen relevant.

Niedriger Schalldruckpegel

Der Schalldruckpegel beträgt laut Pfeiffer Vacuum:

50 dB(A) nach EN ISO 2151.

Damit kann die Pumpe auch in Labor und Forschungsumgebungen eingesetzt werden, in denen die Geräuschentwicklung eine Rolle spielt.

Technische Highlights

Modell: Pfeiffer Vacuum HiPace 700

Geräteart: Turbomolekularpumpe

Saugvermögen N₂: 685 l/s

Saugvermögen Ar: 665 l/s

Saugvermögen He: 655 l/s

Saugvermögen H₂: 555 l/s

Verdichtungsverhältnis N₂: 1 × 10¹¹

Verdichtungsverhältnis Ar: 1 × 10¹¹

Verdichtungsverhältnis He: 3 × 10⁷

Verdichtungsverhältnis H₂: 4 × 10⁵

Gasdurchsatz N₂: 6,5 hPa l/s

Maximaler Vorvakuumdruck N₂: 11 mbar

Hochlaufzeit: 4 min

Schalldruckpegel: 50 dB(A)

Gewicht: ca. 11,5 kg

Antriebselektronik: TC 400

Kommunikation: RS485, Remote

Einbaulage: beliebig

Hochvakuumanschluss: DN 160 ISO K, ISO F oder CF F

Vorvakuumanschluss: DN 25 ISO KF beziehungsweise G 1/4 Zoll

Technische Daten

Die technischen Werte entsprechen dem aktuellen Pfeiffer Vacuum Produktblatt vom 15. September 2025.

HiPace 700 für Vakuumkalibrieranlagen

Die Pfeiffer Vacuum HiPace 700 eignet sich auch für leistungsfähige Vakuumkalibrieranlagen.

Für Kalibrierungen von Vakuummessgeräten müssen niedrige Drücke möglichst stabil und reproduzierbar erzeugt werden.

Eine geeignete Vorpumpe stellt zunächst das notwendige Vorvakuum bereit. Anschließend übernimmt die HiPace 700 die weitere Evakuierung.

Das hohe Saugvermögen von 685 l/s für Stickstoff ist insbesondere bei größeren Kalibrierkammern und Systemen mit erhöhter Gaslast interessant.

Durch die hohen Verdichtungsverhältnisse, insbesondere für Stickstoff, Helium und Wasserstoff, eignet sich die HiPace 700 für einen breiten Bereich professioneller Hochvakuumanwendungen.

HiPace 700 oder HiPace 700 P?

Die HiPace 700 sollte klar von der HiPace 700 P unterschieden werden.

Die Standard HiPace 700 bietet:

685 l/s für N₂

555 l/s für H₂

und ein N₂ Verdichtungsverhältnis von:

1 × 10¹¹.

Die HiPace 700 P ist dagegen stärker auf industrielle Prozessanwendungen ausgelegt. Für sie nennt Pfeiffer Vacuum beispielsweise 670 l/s für N₂, 275 l/s für H₂ und ein deutlich geringeres Verdichtungsverhältnis für Stickstoff. Die P Variante ist zudem speziell für Beschichtungsprozesse ausgelegt und unempfindlicher gegenüber Prozessstaub.

Für klassische Hochvakuum und Ultrahochvakuumanwendungen steht bei der Standard HiPace 700 somit insbesondere die hohe Verdichtung auch leichter Gase im Vordergrund.

Warum die Pfeiffer Vacuum HiPace 700 wählen?

Die Pfeiffer Vacuum HiPace 700 Turbomolekularpumpe kombiniert sehr hohe Pumpgeschwindigkeit mit hohen Verdichtungsverhältnissen und einer robusten Hybridlagerung.

Mit 685 l/s für Stickstoff, 655 l/s für Helium und 555 l/s für Wasserstoff eignet sie sich auch für anspruchsvolle Anwendungen mit unterschiedlichen Gasarten.

Die optimierte Rotorgeometrie verbessert die Gaslastfähigkeit, während RS485 und Remote eine einfache Integration in automatisierte Anlagen ermöglichen.

Die verschiedenen DN 160 Flanschvarianten ermöglichen eine Anpassung an Labor, Forschungs und Industrieanlagen.

Damit bietet die HiPace 700 eine leistungsfähige Lösung für Hochvakuum, Ultrahochvakuum, Analytik, Forschung und professionelle Kalibrieranwendungen.

Typische Anwendungen mit der Pfeiffer Vacuum HiPace 700

Die Pfeiffer Vacuum HiPace 700 eignet sich insbesondere für Vakuumkalibrieranlagen, Hochvakuum Prüfstände, Massenspektrometrie, Oberflächenanalyse, Elektronenmikroskopie, Plasmaforschung, Weltraumforschung, Hochenergiephysik, Halbleitertechnik, Dünnschichtbeschichtung, Lecksuche und industrielle Vakuumsysteme. Pfeiffer Vacuum führt zusätzlich zahlreiche Anwendungen in Metallurgie, Medizintechnik und Laborvakuum auf.

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Herstellerinformationen zur Pfeiffer Vacuum HiPace 700 finden Sie auf der offiziellen Produktseite von Pfeiffer Vacuum.