Die Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P ist eine robuste Turbomolekularpumpe für anspruchsvolle Hochvakuumanwendungen mit hohen Prozessgaslasten. Mit einem Saugvermögen von 350 l/s für Stickstoff N₂, 320 l/s für Argon, 420 l/s für Helium und 225 l/s für Wasserstoff eignet sie sich besonders für Beschichtungsanlagen, Halbleiterprozesse, Elektronenstrahlschweißen sowie weitere industrielle Hochvakuumanwendungen. Pfeiffer Vacuum positioniert die HiPace 400 P ausdrücklich als robuste Prozess Turbopumpe für staubbelastete industrielle Anwendungen und schnelle Prozesszyklen.

Das P in der Produktbezeichnung steht bei Pfeiffer Vacuum für Process. Die HiPace 400 P wurde damit gezielt für Anwendungen entwickelt, bei denen hohe Gaslasten, robuste Konstruktion und zuverlässiger Dauerbetrieb eine wichtige Rolle spielen. Die integrierte Antriebselektronik TC 400, eine beliebige Einbaulage und die integrierte Wasserkühlung unterstützen den Einsatz in anspruchsvollen Prozessanlagen.

Die Hochlaufzeit beträgt nur 1,6 Minuten. Serienmäßig stehen RS485 und Remote als Kommunikationsschnittstellen zur Verfügung. Optional können Profibus, Profinet, EtherCAT, DeviceNet und Semi E74 genutzt werden. Dadurch lässt sich die Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P flexibel in automatisierte Vakuum und Produktionsanlagen integrieren.

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Ihre Vorteile auf einen Blick

• Robuste Prozess Turbomolekularpumpe
• Saugvermögen für N₂ 350 l/s
• Saugvermögen für Ar 320 l/s
• Saugvermögen für He 420 l/s
• Saugvermögen für H₂ 225 l/s
• Speziell für Prozessanwendungen entwickelt
• Für hohe Gaslasten geeignet
• Ideal für schnelle Prozesszyklen
• Unempfindlich gegenüber Staub
• Hochlaufzeit nur 1,6 Minuten
• Maximaler Vorvakuumdruck N₂ 0,9 mbar
• Maximaler Vorvakuumdruck Ar 1,1 mbar
• Maximaler Vorvakuumdruck He 0,5 mbar
• Maximaler Vorvakuumdruck H₂ 0,1 mbar
• Integrierte Antriebselektronik TC 400
• Beliebige Einbaulage
• Integrierte Wasserkühlung
• RS485 und Remote serienmäßig
• Profibus optional
• Profinet optional
• EtherCAT optional
• DeviceNet optional
• Semi E74 optional
• Hochvakuumanschluss DN 100
• ISO K, ISO F und CF F Varianten
• Vorvakuumanschluss DN 25 ISO KF beziehungsweise G 1/4 Zoll
• Gewicht etwa 10,9 kg
• Schalldruckpegel 50 dB(A)
• Für bis zu vier Zubehörkomponenten vorbereitet
• Geeignet für industrielle Hochvakuumanlagen
• Beratung und Service durch europascal

Die aktuellen Herstellerunterlagen bestätigen die genannten Saugvermögen, Schnittstellen, Anschlüsse, Hochlaufzeit und das Gewicht der HiPace 400 P.

Ideal für anspruchsvolle Hochvakuumanwendungen

Die Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P eignet sich insbesondere für Prozessanwendungen, bei denen eine klassische Labor Turbomolekularpumpe hinsichtlich Gaslast, Robustheit oder Staubbelastung nicht ausreicht.

Typische Anwendungen sind:

• Beschichtungsanlagen
• Halbleiterprozesse
• Elektronenstrahlschweißen
• industrielle Hochvakuumanlagen
• Prozessvakuum
• Forschung und Entwicklung
• Hochvakuum Prüfstände
• industrielle Vakuumkammern
• Vakuumkalibrieranlagen
• Analyseanlagen
• Anlagen mit schnellen Prozesszyklen
• Anwendungen mit erhöhter Staubbelastung

Pfeiffer Vacuum nennt Beschichtungs und Halbleiterprozesse sowie staubige industrielle Anwendungen wie Elektronenstrahlschweißanlagen ausdrücklich als typische Einsatzbereiche.

Speziell für Prozessanwendungen entwickelt

Die Bezeichnung HiPace 400 P unterscheidet die Pumpe von der Standardausführung HiPace 400.

Pfeiffer Vacuum erläutert die Modellbezeichnung ausdrücklich:

P = Process

Damit kennzeichnet der Hersteller eine Ausführung, die für industrielle Prozessanwendungen optimiert ist.

Die Konstruktion ist insbesondere auf robuste Betriebsbedingungen, hohe Gaslasten und schnelle Prozessabläufe ausgelegt.

Dies ist ein wichtiger Unterschied zu Turbomolekularpumpen, die hauptsächlich für klassische Hochvakuum Laboranwendungen optimiert sind.

Saugvermögen von 350 l/s für Stickstoff

Für Stickstoff N₂ beträgt das Saugvermögen:

350 l/s

Dies entspricht rechnerisch:

1.260 m³/h.

Für weitere Gase gibt Pfeiffer Vacuum folgende Werte an:

Argon Ar: 320 l/s

Helium He: 420 l/s

Wasserstoff H₂: 225 l/s.

Das besonders hohe Helium Saugvermögen von 420 l/s zeigt, dass die Pumpe auch für Anwendungen mit leichten Gasen leistungsfähig ausgelegt ist.

Gasdurchsatz bei Nenndrehzahl

Neben dem Saugvermögen ist bei Prozessanwendungen der zulässige Gasdurchsatz besonders wichtig.

Pfeiffer Vacuum gibt bei voller Drehzahl an:

N₂: 2 hPa l/s

Argon: 1 hPa l/s

Helium: 4 hPa l/s

Wasserstoff: 4 hPa l/s.

Diese Angaben sind insbesondere für Prozessanlagen relevant, in denen während des Betriebs kontinuierlich Gas in die Vakuumkammer eingebracht wird.

Verdichtungsverhältnis abhängig von der Gasart

Die HiPace 400 P erreicht unterschiedliche Verdichtungsverhältnisse abhängig von der Gasart.

Pfeiffer Vacuum spezifiziert:

Argon: > 1 × 10⁷

Stickstoff N₂: > 1 × 10⁶

Helium: 3 × 10³

Wasserstoff: 4 × 10².

Wie bei Turbomolekularpumpen üblich, sind die Verdichtungsverhältnisse für leichte Gase geringer als für schwerere Gase.

Gerade bei Wasserstoff und Helium muss dies bei der Auslegung des gesamten Vakuumsystems berücksichtigt werden.

Vorvakuum für die HiPace 400 P

Eine Turbomolekularpumpe benötigt eine geeignete Vorvakuumpumpe.

Bei der HiPace 400 P beträgt der maximal zulässige Vorvakuumdruck:

Stickstoff N₂: 0,9 mbar

Argon Ar: 1,1 mbar

Helium He: 0,5 mbar

Wasserstoff H₂: 0,1 mbar.

Die Auswahl der Vorpumpe sollte deshalb immer anhand des jeweiligen Prozessgases und des geforderten Gasdurchsatzes erfolgen.

Für saubere Prozesse kann die HiPace 400 P beispielsweise mit einer geeigneten trockenen Scrollpumpe kombiniert werden.

Schnelle Hochlaufzeit

Die Hochlaufzeit beträgt nur:

1,6 Minuten

beziehungsweise rund:

96 Sekunden.

Dies ist besonders für Produktionsanlagen mit wiederkehrenden Pumpzyklen interessant.

Kurze Hochlaufzeiten reduzieren die Wartezeit beim Anlagenstart und unterstützen schnelle Prozessabläufe.

Pfeiffer Vacuum nennt die HiPace 400 P deshalb ausdrücklich als geeignete Lösung für fast cycles.

Integrierte Antriebselektronik TC 400

Die Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P verfügt über die integrierte Antriebselektronik:

TC 400.

Damit sind die für Betrieb, Überwachung und Kommunikation erforderlichen Funktionen direkt an der Turbopumpe verfügbar.

Serienmäßig stehen:

RS485

und:

Remote

zur Verfügung.

Optional können weitere industrielle Bussysteme ergänzt werden:

Profibus

Profinet

EtherCAT

DeviceNet

Semi E74.

Dies erleichtert die Integration in industrielle Steuerungs und Automatisierungssysteme.

Flexible Einbaulage

Die HiPace 400 P kann laut Hersteller in:

beliebiger Einbaulage

betrieben werden.

Dies bietet Konstrukteuren große Freiheit bei der Integration der Pumpe in Maschinen und Anlagen.

Gerade bei komplexen Prozesssystemen ist der verfügbare Bauraum häufig begrenzt. Eine flexible Einbaulage erleichtert die Optimierung von Leitungswegen und Anlagenlayout.

Integrierte Wasserkühlung

Pfeiffer Vacuum nennt die integrierte Wasserkühlung ausdrücklich als Merkmal der HiPace 400 P.

Die Wasserkühlung ermöglicht einen zuverlässigen Betrieb auch bei hohen Gasdurchsätzen.

Dies ist insbesondere bei Prozessanwendungen wichtig, weil hohe Gaslasten zusätzliche Wärme in der Turbomolekularpumpe erzeugen.

Eine leistungsfähige Kühlung trägt damit zu stabilen Betriebsbedingungen bei.

Robuste Ausführung für staubige Prozesse

Eine Besonderheit der HiPace 400 P ist ihre Eignung für Anwendungen mit Staubbelastung.

Pfeiffer Vacuum bezeichnet das Modell ausdrücklich als:

insensitive to dust

und nennt staubige industrielle Anwendungen wie Elektronenstrahlschweißen als typisches Einsatzgebiet.

Damit hebt sich die Process Variante von vielen klassischen Hochvakuumpumpen ab, die hauptsächlich für besonders saubere Laborbedingungen vorgesehen sind.

Bis zu vier Zubehörkomponenten

Die HiPace 400 P kann laut Hersteller mit:

bis zu vier Zubehörkomponenten

ausgestattet werden.

Dadurch lässt sich die Turbomolekularpumpe flexibel an unterschiedliche Anwendungen anpassen.

Mögliche Zubehörlösungen umfassen je nach Anlagenkonfiguration beispielsweise Ventile, Anzeige und Steuerungskomponenten sowie Kommunikationsoptionen.

Hochvakuumanschlüsse DN 100

Die HiPace 400 P ist mit unterschiedlichen Hochvakuumflanschen verfügbar:

DN 100 ISO K

DN 100 ISO F

DN 100 CF F.

Der Vorvakuumanschluss ist als:

DN 25 ISO KF beziehungsweise G 1/4 Zoll

ausgeführt.

Die unterschiedlichen Hochvakuumflansche ermöglichen eine Anpassung an verschiedenste Anlagenkonzepte.

Technische Highlights

Modell: Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P

Geräteart: Turbomolekularpumpe

Ausführung: Process

Saugvermögen N₂: 350 l/s

Saugvermögen Ar: 320 l/s

Saugvermögen He: 420 l/s

Saugvermögen H₂: 225 l/s

Gasdurchsatz N₂: 2 hPa l/s

Gasdurchsatz Ar: 1 hPa l/s

Gasdurchsatz He: 4 hPa l/s

Gasdurchsatz H₂: 4 hPa l/s

Maximales Vorvakuum N₂: 0,9 mbar

Hochlaufzeit: 1,6 min

Antriebselektronik: TC 400

Kommunikation: RS485 und Remote

Optionale Kommunikation: Profibus, Profinet, EtherCAT, DeviceNet, Semi E74

Einbaulage: beliebig

Kühlung: Wasser

Hochvakuumanschluss: DN 100 ISO K, ISO F oder CF F

Vorvakuumanschluss: DN 25 ISO KF beziehungsweise G 1/4 Zoll

Schalldruckpegel: 50 dB(A)

Gewicht: ca. 10,9 kg

Technische Daten

Die Tabelle basiert auf dem aktuellen Pfeiffer Vacuum Produktblatt und der Betriebsanleitung der HiPace 400 P.

HiPace 400 P für industrielle Prozessanlagen

Der wichtigste Einsatzbereich der Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P liegt in industriellen Prozessen.

Während klassische Turbomolekularpumpen häufig auf einen möglichst niedrigen Enddruck und geringe Gaslasten optimiert sind, steht bei der HiPace 400 P die robuste Verarbeitung von Prozessgasen im Vordergrund.

Die Kombination aus:

350 l/s N₂ Saugvermögen

hoher Gaslastfähigkeit

integrierter Wasserkühlung

und:

staubunempfindlicher Konstruktion

macht die Pumpe besonders interessant für industrielle Produktionsanlagen.

HiPace 400 P für Vakuumkalibrieranlagen

Auch in leistungsfähigen Vakuumkalibrieranlagen kann die HiPace 400 P eingesetzt werden, insbesondere wenn höhere Gaslasten auftreten oder größere Volumina evakuiert werden müssen.

Die geeignete Vorpumpe erzeugt zunächst den erforderlichen Vorvakuumdruck. Anschließend übernimmt die HiPace 400 P die weitere Evakuierung.

Für klassische Referenzvakuumsysteme mit besonders hohen Anforderungen an sehr niedrige Enddrücke können jedoch andere Varianten der HiPace Baureihe geeigneter sein. Die Process Variante ist ausdrücklich auf Gasdurchsatz und robuste Prozessanwendungen ausgerichtet.

HiPace 400 P und HiPace 400

Die HiPace 400 P darf nicht mit der Standardausführung HiPace 400 verwechselt werden.

Bei der Standard HiPace 400 stehen sehr hohe Verdichtungsverhältnisse und klassische Hochvakuumanwendungen im Vordergrund. Die aktuelle Standardversion erreicht beispielsweise 355 l/s für N₂, aber ein N₂ Verdichtungsverhältnis von über 1 × 10¹¹.

Bei der HiPace 400 P beträgt das Saugvermögen für N₂ 350 l/s, das Verdichtungsverhältnis aber nur über 1 × 10⁶. Dafür ist die Pumpe stärker auf industrielle Prozessbedingungen, Gaslast und Staub ausgelegt.

Dieser Unterschied ist für die Auswahl der richtigen Turbomolekularpumpe entscheidend.

Warum die Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P wählen?

Die Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P ist eine robuste Prozess Turbomolekularpumpe für Anwendungen mit hohen Gaslasten und anspruchsvollen industriellen Bedingungen.

Mit 350 l/s Saugvermögen für Stickstoff, 420 l/s für Helium und einer Hochlaufzeit von nur 1,6 Minuten bietet sie hohe Prozessleistung bei kurzen Zykluszeiten.

Die integrierte TC 400 Antriebselektronik, umfangreiche Kommunikationsmöglichkeiten und die beliebige Einbaulage erleichtern die Integration in automatisierte Anlagen.

Die integrierte Wasserkühlung unterstützt einen stabilen Betrieb bei hohen Gaslasten.

Besonders hervorzuheben ist die robuste Auslegung für staubige industrielle Prozesse. Pfeiffer Vacuum nennt Elektronenstrahlschweißen, Beschichtung und Halbleitertechnik ausdrücklich als typische Anwendungsgebiete.

Damit eignet sich die HiPace 400 P besonders für Anwender, die nicht nur ein hohes Saugvermögen, sondern eine prozessoptimierte Turbomolekularpumpe für den industriellen Dauerbetrieb benötigen.

Typische Anwendungen mit der Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P

Die Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P eignet sich insbesondere für Beschichtungsanlagen, Halbleiterprozesse, Elektronenstrahlschweißen, industrielle Hochvakuumsysteme, Prozesskammern, Forschungsanlagen, Hochvakuum Prüfstände und ausgewählte Vakuumkalibrieranlagen.

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Weitere Produkte von Pfeiffer Vacuum finden Sie bei europascal.

Herstellerinformationen zur Pfeiffer Vacuum HiPace 400 P finden Sie im offiziellen Produktblatt von Pfeiffer Vacuum.